Load Port對應膜厚測量系統(tǒng) GS-300

產(chǎn)品簡介
●Φ支持到300mmEFM單元備用端口的集成

●實現(xiàn)嵌入在晶片中的布線圖案的圖案對齊

●支持半導體工藝的高吞吐量要求

●支持槽口對齊功能

●小尺寸規(guī)格

●高精度自動校準單元

產(chǎn)品型號：

更新時間：2025-11-30

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問量：736

產(chǎn)品咨詢 18117546256

產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

光譜系統(tǒng)

光探測磁共振譜超快瞬態(tài)吸收拉曼光譜熒光光譜顯微缺陷膜厚半導體晶圓缺陷檢測儀高光譜測試系統(tǒng) 太陽能電池量子效率太陽光模擬器IV系統(tǒng) 顯微光電流成像系統(tǒng) 探測器光響應度系統(tǒng) 光譜變溫附件探針臺熒光系統(tǒng) 組合熒光系統(tǒng) 鏡頭透過率測試系統(tǒng) 漫反射率測試系統(tǒng) 反射、吸收率系統(tǒng) 成像亮度計標準燈參考輻射定標電致發(fā)光系統(tǒng) 常規(guī)發(fā)射光譜系統(tǒng) 共聚焦拉曼光譜儀

顯微分光膜厚儀的性能特點及日常維護保養(yǎng)方式

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產(chǎn)品信息

測量示例

TSV嵌入式圖形晶圓研磨后的硅厚度

晶圓厚度Φ300mm尺寸

規(guī)格

Load Port對應膜厚測量系統(tǒng) GS-300

測量示例

Load Port對應膜厚測量系統(tǒng) GS-300

上海波銘科學儀器有限公司主要提供光譜光電集成系統(tǒng)、晶萃光學機械和光學平臺、激光器、Edmund 光學元件、Newport 產(chǎn)品、濱松光電探測器、卓立漢光熒光拉曼光譜儀、是德 Keysight 電學測試系統(tǒng)、大塚 Otsuka 膜厚儀、鑫圖科研級相機、Semilab 半導體測試設備及高低溫探針臺系統(tǒng)。經(jīng)過多年的發(fā)展，上海波銘科學儀器有限公司在市場上已取得了一定的地位。我們的產(chǎn)品和服務在行業(yè)內(nèi)具有較高的知zhi名度和美譽度，客戶遍布全國。我們將繼續(xù)努力，不斷提升市場地位和影響力。

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